Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии - Валерий Михайлов
| Автор: | Валерий Михайлов |
| Издательство: | |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Техническая литература |
| Год издания: | 2011 |
| isbn: | 978-5-7038-3494-7 |
Методические материалы по дисциплине «Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, лабораторных работ, перечень учебных видеоматериалов, слайдов, плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.