Технологические процессы в наноинженерии - Владимир Макарчук
| Автор: | Владимир Макарчук |
| Издательство: | |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Техническая литература |
| Год издания: | 2011 |
| isbn: | 978-5-7038-3493-0 |
Методические материалы по дисциплине «Технологические процессы в наноинженерии» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.