Компоненты микросистемной техники. Основы конечно-элементного анализа радиочастотных микроэлектромеханических систем - П. С. Маринушкин
| Автор: | П. С. Маринушкин |
| Издательство: | Сибирский федеральный университет |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | |
| Год издания: | 2022 |
| isbn: | 978-5-7638-4575-4 |
Рассмотрены принципы работы компонентов радиочастотных микроэлектромеханических систем и описаны примеры использования современных технологий их моделирования с использованием программного комплекса ANSYS. Предназначено по кодификатору ФГОС ВО для направлений подготовки бакалавров 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 110000 «Электроника, радиотехника и системы связи».