Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки - Коллектив авторов
Автор: | Коллектив авторов |
Издательство: | Издательство ЛАНЬ |
Серия: | |
Жанр произведения: | |
Год издания: | 0 |
isbn: | 978-5-507-45480-8 |
Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».